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准分子激光手术是用准分子设备在角1膜上进行磨削，也就是在角1膜上人为的做一个永1久性的隐形1眼镜。它是一个光学的手术，改变了人体眼球的屈光状态，让原来不能落在视1网膜上的焦点重新落到视网1膜上。准分子激光是氟ya两种气体混合后经激发而产生的一种人眼看不见的紫外光，其波长仅193纳米，不会穿入眼内，属冷激光，无热效应，重庆准分子预混气，能以“照射”方式对人眼角1膜组织进行精1确气化，达到“切削”和“雕琢”角1膜的目的而不损伤周围组织和其他器1官，其独特性质是适合角1膜屈光手术。

准分子激光由Nikolai Basov， V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所发明。使用电子束激发氙气二聚体，产生的准分子激光波长为172nm。

1975年包括美国政府的海1军研究实验室、诺思罗普研究和技术中心，准分子预混气体，Avco Everett研究实验室，和美国桑迪亚国家实验室在内的多家政府研究机构研究利用电子束激发惰性气体卤化物。

1979年西德Lambda Physik公司生产出第1台商业用准分子激光器。

迄今为止已经发现的能够产生准分子激光的气体有10多种。

准分子激光技术（准分子激光气体产生激光）在制造业微加工应用不断扩大，包括钻石等激光打标、材料表面改性、高碳钢淬火、三维加工。准分子激光技术在微加工中可以得到小孔，刻线，以及其他三维复杂的图案，准分子预混气厂家，如果结合有效反馈( 比如，用激光测量)来控制光的输入，加工精度在深度方向可达亚微米量级。准分子激光气体使用短波长使得侧向的精度可达亚微米量级；然而，实现亚微米量级不仅依赖于激光性能。它还要求高重复率的运动控制，通常使用带空气轴承的平台来移动基底和镜片，镜片移动需要考虑到足够的焦深，同时，实际加工时需要足够大的视场。准分子激光气体尤其适合大面积，集中且重复性强的图案。

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